机译:使用静电驱动和电容读数在线测量粘附力
Department of Electrical Engineering, Stanford University, Stanford, CA, USA;
Adhesion force; capacitive readout; electrostatic actuation; microelectromechanical systems (MEMS) reliability;
机译:电容式三轴力传感器及其读出电子设备
机译:使用微机械静电执行器的基于原子力显微镜的生物分子力钳测量
机译:用于抑制生物应用中CMOS-MEMS电容式力传感器的垂直干扰的静电执行器的设计
机译:参数对考虑击穿电压的电粘合和静电致动的输出力的影响
机译:球形接触和碳纳米管的静电致动中的粘附力。
机译:基于原子力显微镜的基于生物分子 - 钳位使用微机械静电致动器进行测量
机译:静电致动器的设计抑制BIO应用中CMOS-MEMS电容式传感器垂直扰动的静电致动器