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静电驱动的MEMS可变电容器

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摘要

介绍了一种用硅-玻璃键合工艺制作的微型梁式可变电容器,通过ANSYS软件并结合MEMS器件的特点进行优化,设计并制作了由MEMS工艺实现的微型静电驱动的可变电容器件,给出了工艺流程和测试结果.通过实验测试证明:用这种方法制作的电容器件具有良好的线性、较小的滞后和稳定的工作特性.

著录项

来源
《仪表技术与传感器》 |2007年第2期|6-7,13|共3页
作者
冯勇建;
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作者单位

厦门大学机电系,福建厦门,361005;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
可变电容; MEMS; 静电驱动;

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