机译:通过XEF_2在氟化过程中减轻石墨烯蚀刻SiO_2
Univ Fed Rio Grande do Sul Inst Fis BR-91509900 Porto Alegre RS Brazil;
Univ Fed Rio Grande do Sul Inst Quim BR-91509900 Porto Alegre RS Brazil;
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Univ Fed Rio Grande do Sul Inst Quim BR-91509900 Porto Alegre RS Brazil;
Carbon materials; XPS; Surfaces; Graphene; Fluorination;
机译:XeF_2氟化过程中减轻SiO_2上的石墨烯蚀刻
机译:离子束诱导刻蚀中前驱物覆盖的建模以及在SiO_2上使用XeF_2进行的实验验证
机译:通过单步XEF_2曝光,氟,氧共官能化石墨烯的合成,表征和纳米植物利用
机译:使用Au / SiO_2混合键合和XeF_2刻蚀的CMOS图像传感器的完全耗尽绝缘体上硅晶体管衬底的三维集成
机译:石墨烯化学掺杂对无定形二氧化硅的化学掺杂,石墨烯 - 氟超晶格的电子性质及石墨烯与原子氟相互作用的研究
机译:通过受控离子束对石墨烯基电子产品进行石墨烯原子层蚀刻
机译:石墨烯中空位的优先反铁磁耦合 siO_2:电子自旋共振和扫描隧道谱
机译:si的氧化,氮化和氟蚀刻