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机译:Ulsi互连应用中的电镀薄膜银沉积
Research Center for Energy Conversion and Storage, School of Chemical and Biological Engineering, Seoul National University, San 56-1, Shillim-dong, Gwanak-gu, Seoul 151-742, Korea;
ulsi interconnection; ag; electroplating;
机译:电镀用于互连应用的Cu(Ag)薄膜
机译:银薄膜的金属有机化学气相沉积,通过直接液体注入系统用于将来的互连
机译:用于ULSI互连的等离子增强化学气相沉积法沉积低介电常数SiOC(-H)薄膜的结构和电学特性
机译:使用各种Ru(0)金属有机前驱体和分子O2增强成核的Ru薄膜的原子层沉积:在铜电镀和电容器电极的种子层中的应用
机译:用于ULSI互连的金属化薄膜的化学气相沉积。
机译:一步脉冲混合电泳和电镀沉积法方便地生长Cu2ZnSnS4薄膜
机译:ULSI AG使用电镀沉积互连。
机译:锂钴氧化物薄膜的溅射沉积和表征及其在薄膜可充电锂电池中的应用