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机译:电子束灰度光刻中纳米级三维结构的剩余抗蚀剂深度的精确控制
机译:控制电子束灰度光刻中3D结构制造的抗蚀剂厚度和蚀刻深度
机译:ZEP520A-A抗蚀剂,用于电子束灰度光刻和热熔
机译:使用电子束光刻的致密光栅的纳米级抗蚀剂形态
机译:精确确定3D PSF和灰度激光光刻中的抗蚀剂效应
机译:基于精确深度的后处理,用于实时三维图形中的感知增强。
机译:海藻糖糖醇抗性可通过电子束光刻直接写入蛋白质图案
机译:使用电子束光刻和三维激光光刻,用三维聚苯乙烯胶体晶体浸渍金属布线