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机译:电子束产生等离子体中的光刻胶蚀刻和粗糙度形成的研究
Department of Materials Science and Engineering, University of Maryland, College Park, Maryland 20742;
机译:新型ArF光致抗蚀剂聚合物,可抑制等离子蚀刻过程中形成粗糙度
机译:聚合物主链结构对等离子刻蚀过程中ArF光致抗蚀剂粗糙度形成的影响
机译:聚合物侧链结构对等离子刻蚀过程中ArF光致抗蚀剂粗糙度形成的影响
机译:新型ArF光致抗蚀剂聚合物可抑制等离子蚀刻工艺中的粗糙度形成
机译:合理设计超低k介电材料的无损电容耦合等离子体蚀刻和光刻胶剥离工艺。
机译:EUV光刻胶的分子模型揭示了链构象对线边缘粗糙度形成的影响
机译:使用光致抗蚀剂掩模的GaAs的高压电感耦合等离子体蚀刻过程
机译:氟碳等离子体中二氧化硅和光刻胶蚀刻的表征