...
机译:下游微波氮等离子体对链烷硫醇自组装单分子层的图案化:负性和正性抗蚀剂行为
Department of Materials Science and Engineering, National Cheng Kung University, No. 1, University Road, Tainan 70101, Taiwan;
Department of Materials Science and Engineering, National Cheng Kung University, No. 1, University Road, Tainan 70101, Taiwan and Center for Micro/Nano Science and Technology, National Cheng Kung University, No. 1, University Road, Tainan 70101, Taiwan;
Department of Materials Science and Engineering, National Cheng Kung University, No. 1, University Road, Tainan 70101, Taiwan;
Department of Materials Science and Engineering, National Cheng Kung University, No. 1, University Road, Tainan 70101, Taiwan;
National Synchrotron Radiation Research Center, 101 Hsin-Ann Road, Hsinchu 30077, Taiwan;
Angewandte Physikalische Chemie, Universitaet Heidelberg, Im Neuenheimer Feld 253, 69120 Heidelberg, Germany;
机译:硫代烷烃自组装单分子膜作为电子光刻的负阻或正阻。
机译:大气微等离子体压模在金表面上硫代烷烃自组装单分子膜的快速微尺度图案化
机译:使用负掩模的硫代烷烃自组装单层亚微光图案化及其在生物分子光电二极管制造中的应用
机译:通过使用链烷醇酸酯自组装单层作为抗蚀剂,稳定氦梁光刻
机译:吸附在金和砷化镓(001)上的链烷硫醇盐自组装单层的紫外光图案化,电子束光刻和特定位置的表面反应。
机译:用金上的链烷硫醇盐自组装单层控制轮廓表面上的细胞附着。
机译:图案化二元链烷醇酸酯自组装单层对紫外线照射条件和时间,末端基团和亚甲基链长的依赖性
机译:聚合物自组装单层膜。 3.利用光刻,电化学方法和超薄自组装二乙炔抗蚀剂进行图案转移