机译:嵌入式衰减相移掩模的先进的芯片到数据库检查技术
Corporate Research and Development Center, Toshiba Corporation, 1 Komukai Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki 212-8582, Japan;
机译:高透射率嵌入层在透射率控制掩模中的应用仿真及衰减相移掩模的优化设计
机译:高级光学光刻中减毒相移掩模的三维掩模效应研究
机译:用于极紫外光刻的反射型衰减相移掩模的高反射率,在深紫外条件下具有较高的检查对比度
机译:高级嵌入式衰减型相移掩模的波长相关光斑缺陷
机译:使用先进的相位掩膜技术对三维光子晶体模板进行激光全息制造
机译:未知相移的N步相移干涉术中的一种先进相位检索算法
机译:极端紫外线的减毒相移掩模:它们是否可以减轻三维掩模效果?