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机译:抗蚀剂线边缘粗糙度的深度依赖性:与光酸扩散长度的关系
Electrical and Computer Engineering, University of Wisconsin-Madison, Madison, Wisconsin 53706;
机译:分子抗蚀剂的中尺度动力学蒙特卡洛模拟:光酸均质性对分辨率,线边缘粗糙度和灵敏度的影响
机译:分子抗蚀剂的中尺度动力学蒙特卡洛模拟:光酸均质性对分辨率,线边缘粗糙度和灵敏度的影响
机译:电子束光刻用部分O-1-乙氧基乙基化的低分子量无定形多酚和聚对羟基苯乙烯基抗蚀剂的深度分布和线边缘粗糙度
机译:仿真聚合物尺寸,酸扩散长度和EUV二次电子模糊对抗蚀剂线边缘粗糙度的综合影响
机译:极紫外光刻中掩模的粗糙度引起的线边缘粗糙度
机译:通过使用非化学放大的抗蚀剂和曝光后烘烤来制造具有改善的线边缘粗糙度的高分辨率掩模
机译:了解三维侧壁粗糙度对扫描电子显微镜图像中观察到的线边粗糙度的影响