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公开/公告号CN103508994B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 罗门哈斯电子材料有限公司;
申请/专利号CN201310257323.4
申请日2013-06-25
分类号C07D317/24(20060101);C07D493/04(20060101);C07D493/14(20060101);G03F7/09(20060101);G03F7/00(20060101);G03F7/004(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人朱黎明
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:46:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-09-07
授权
授权
2014-02-19
实质审查的生效 IPC(主分类):C07D 317/24 申请日:20130625
实质审查的生效
2014-01-15
公开
公开
机译: 光酸产生剂,包含该光酸产生剂的光刻胶以及包括该光致酸产生剂的涂覆制品
机译: 光酸产生剂,包含该光酸产生剂的光刻胶以及包括该光致酸产生剂的涂覆制品
机译: 光酸产生剂化合物和包含其的光致抗蚀剂组合物,涂覆制品的制造方法以及包含光致抗蚀剂的制品