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机译:使用氢倍半硅氧烷和X射线光刻技术制作用于纳米压印,步进和闪光以及软光刻的母版
Department of Chemical and Biological Engineering, University of Wisconsin, 1415 Engineering Drive, Madison, Wisconsin 53706;
机译:使用氢倍半硅氧烷和氮化硅进行纳米压印光刻的亚50纳米模板制作
机译:适用于晶圆级相机应用的高精度UV-纳米压印光刻分步重复主印章制造
机译:氢倍半硅氧烷,用于步进和闪光压印光刻模板的直接电子束构图
机译:用于1Tbit / inch 2 sup>位图案化介质的纳米压印光刻的25nm间距母版和复制品模具制造
机译:分步和快速压印光刻:低压,室温纳米压印光刻。
机译:纳米压印光刻步进机用于批量生产前沿半导体集成电路
机译:纳米压印光刻步进用于前缘半导体集成电路的体积制造
机译:用软X射线光刻技术制备高纵横比区域板的研究进展