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机译:极端紫外线编程的多层缺陷的光化检查和交叉比较测量
Univ Calif Berkeley, Lawrence Berkeley Lab, Berkeley, CA 94720 USA;
Lawrence Livermore Natl Lab, Livermore, CA 94550 USA;
SEMATECH, Albany, NY 12203 USA;
Assoc Super Adv Elect Technol, MIRAI, Tsukuba, Ibaraki 3058569, Japan;
LITHOGRAPHY MASK DEFECTS; LOCALIZED DEFECTS; BLANKS;
机译:光电发射显微技术检测极紫外光刻多层掩模板的高分辨率光化缺陷
机译:宽带紫外线照射下光化检查表征极端紫外线光刻掩模缺陷
机译:极紫外光化图案检查工具中噪声源和光学设计对缺陷检测灵敏度的影响
机译:用光化暗场显微镜分析极端紫外相和振幅多层缺陷的明显散射
机译:台式,全视野,光化显微镜,用于极端紫外线光刻掩模表征。
机译:离子显微镜可作为极紫外光下定量测量的工具
机译:由衬底凹坑成核的多层缺陷:光化检测和非光印检查技术的比较
机译:EUV程序化多层缺陷的光化检测和交叉比较测量