...
机译:电子束光刻曝光中聚甲基丙烯酸甲酯片段的空间分布和分子量的模拟
Applied Nanotools, Inc., 4465-99 Street Edmonton, Alberta T6E 5B6, Canada;
机译:通过蒙特卡洛模拟对电子束光刻的极限分辨率进行理论研究,包括二次电子生成:聚甲基丙烯酸甲酯的能量耗散曲线
机译:电子束光刻中随机曝光分布的快速仿真
机译:电子束光刻中蒙特卡罗模拟提高了生成点扩散函数的空间分辨率
机译:分子量不同的聚合物型电子束抗蚀剂对下一代光掩模的曝光特性
机译:聚合物抗蚀剂的电子束感应电导率效应和电子束光刻中的电荷感应电子束偏转模拟。
机译:CT模拟过程中电子密度空间分布和X射线束质量对剂量计算精度的影响
机译:分子量分布对聚苯乙烯电子束曝光性质的影响