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机译:开发极紫外光源,以进行生产前的口罩检查
Energetiq Technology, Inc., 7 Constitution Way, Woburn, Massachusetts 01801;
机译:高阶谐波发生源相干极紫外散射显微镜的研制,用于极紫外掩模的检测和计量
机译:用于光化检查和计量的高辐射极紫外光源
机译:开发用于激光的极紫外光源锡等离子体的集体汤姆逊散射系统
机译:使用hp22nm及更高波长的DUV光源进行EUV掩模检查技术的研究
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:开发一种发条光源以使乡村卫生工作者能够进行宫颈检查
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