机译:基于不平衡SVDD的判别特征选择在半导体制造过程中的故障检测
Northeastern Univ, Coll Informat Sci & Technol, 11,Lane 3,Wenhua Rd, Shenyang, Liaoning, Peoples R China|Bohai Univ, Coll Engn, 19,Keji Rd, Jinzhou, Liaoning, Peoples R China;
Northeastern Univ, Coll Informat Sci & Technol, 11,Lane 3,Wenhua Rd, Shenyang, Liaoning, Peoples R China;
Bohai Univ, Coll Engn, 19,Keji Rd, Jinzhou, Liaoning, Peoples R China;
Fault detection; the semiconductor manufacture process; class imbalance; feature selection;
机译:半导体制造过程中的类不平衡问题的故障检测
机译:基于
机译:使用基于主成分的高斯混合模型进行半导体制造过程的故障检测
机译:特征选择和促进技术,以提高半导体制造过程中的故障检测精度
机译:基于模型的贝叶斯故障诊断系统,应用于半导体制造过程。
机译:基于非线性支持向量机的特征选择在连续过程中同时进行故障检测和识别
机译:基于非线性支持向量机的特征选择同时出现故障检测和连续过程中的识别