基于SPA-SVDD方法对间歇过程的故障检测

摘要

针对间歇过程采集的数据具有三维矩阵数据形式采样时间不等长,不能直接适用于传统故障检测方法的问题,提出一种基于统计模量分析的支持向量数据描述(SPA-SVDD)方法.利用统计模量分析(SPA)将三维矩阵形式转换为二维矩阵,剔除各批次采样时间不等长对检测的影响.统计模量分析可以提取过程数据的非线性、动态性、多模态等特性.用支持向量数据描述(SVDD)方法在由统计模量组成的训练集数据上进行建模,得到支持向量到球心的距离.对新的样本进行检测,对半导体工艺过程进行仿真实验,并对比M-SVDD、SPA-KNN方法验证方法的有效性和优越性.