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机译:通过磁控溅射ZnO / Ga_2O_3的反应重建制备GaN薄膜
Semiconductor Institute, Shandong Normal University, Ji'nan 250014, China;
fabrication; Ga_2O_3 film; ZnO buffer layer; radio frequency magnetron sputtering; nitriding;
机译:反应堆磁控溅射ZnO / Ga2O3制备GaN薄膜
机译:射频磁控溅射氨化沉积在Si(111)上的Ga_2O_3 / Al_2O_3薄膜制备GaN纳米线
机译:反应磁控溅射制备具有宽范围光学特性的ZnO薄膜
机译:PEC应用反应性射频磁控溅射沉积氮掺杂的ZnO(ZnO:N)薄膜
机译:射频磁控溅射生长的GaN薄膜的特性用于制造AlGaN / GaN HEMT生物传感器
机译:直流反应磁控溅射制备纳米结构多孔ZnO薄膜的表面性能
机译:DC磁控溅射透明导电膜ZnO(Al)和ZnO(藻类)的制造和研究