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机译:Si上离子注入SiO2层的引入速率和缺陷退火
机译:注入硅离子的SiO2层退火后形成硅纳米晶体的特征
机译:含Si纳米团簇的掺Er的SiO2层的双离子注入和退火光致发光
机译:通过锗注入膜的退火引入Si / SiO2界面态
机译:退火温度对沉积SiO2并随后进行POCl3退火的SiC外延层表面钝化的影响
机译:离子注入硅的热退火过程中的磷缺陷相互作用。
机译:Zn注入的Si(001)衬底表面层热退火后的缺陷结构转变
机译:正电子湮没光谱揭示了氟注入GaN层的缺陷形成和退火行为