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机译:使用微力学测量薄膜的杨氏模量
机译:使用微机械悬臂梁传感器有效地测量薄膜的杨氏模量
机译:用于纳米多孔低k介电薄膜的杨氏模量测量的非接触光学计量学
机译:原子层沉积TiO_2薄膜的杨氏模量和泊松比测量
机译:光学激发纳米膜谐振器的谐振频率测量,测定原子层沉积薄膜的密度和杨氏模量
机译:用于应力测量的微机械传感器以及用于MEMS应用的自支撑薄膜的微机械研究。
机译:集成激光诱导的压电/差分共焦表面声波系统用于测量薄膜杨氏模量
机译:用微机械悬臂梁传感器测量薄膜的有效杨氏模量