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机译:使用钽阻挡层的碳纳米管生长技术用于采用Cu / Low-k互连工艺的未来ULSI
Radio-Frequency Section, Electromagnetic Wave Division, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (A1ST). 1-1-1 Umezono Tsukuba Ibaraki 305-8563, Japan;
carbon nanotubes (CNTs); Cu/CNTs hybrid interconnection; via; tantalum barrier;
机译:用于Cu / PAE低k互连的势垒层的可靠性研究
机译:Cu / low-k互连中的热ALD TaNC膜的增强的生长和Cu扩散阻挡性能
机译:COTA合金作为Cu / Low-K互连的阻挡层
机译:Cu双金属镶嵌与低k有机膜中的原位氟化碳氮化物(FCN:-C = N(F)-)阻挡层互连
机译:考虑衬底效应的互连线的高频阻抗提取和用于未来VLSI互连线的单壁碳纳米管的探索。
机译:用于进一步缩小超大型集成器件-Cu互连的等离子增强化学气相沉积SiCH膜的低k覆盖层的材料设计
机译:碳纳米管束,cu / low-k和光学片上全局互连的性能建模