机译:基于金属硅化物/硅纳米线的纳米级肖特基二极管的制备及电学表征及扫描探针光刻和湿法刻蚀
Institute of Nanotechnology, National Chiao Tung University, Hsinchu 30050, Taiwan;
silicon nanowire (SiNW); nanometer-sized schottky diode; nickel monosilicide; scanning probe lithography; TMAH; RTA;
机译:基于绝缘体上硅纳米线通过扫描探针光刻和湿法蚀刻制造的单电子晶体管结构
机译:利用扫描探针光刻和各向异性湿法刻蚀在(100)硅晶片上制备超高密度纳米金字塔阵列(NPAs)
机译:通过扫描探针光刻和各向异性湿法刻蚀制造的原型硅间距工件的特性
机译:使用扫描探针光刻和各向异性湿法刻蚀在100硅片上制造超高密度纳米金字塔阵列(NPA)
机译:使用可变温度扫描探针显微镜的过渡金属硅化物纳米结构的电学特性
机译:金属辅助化学蚀刻的无光刻技术制造硅纳米线和纳米孔阵列
机译:通过扫描探针光刻和各向异性湿法刻蚀对(110)取向硅进行纳米加工