机译:化学增幅光刻胶光产酸剂材料设计的研究
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., 1590 Tabata, Samukawa, Kanagawa 253-0114, Japan;
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., 1590 Tabata, Samukawa, Kanagawa 253-0114, Japan;
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., 1590 Tabata, Samukawa, Kanagawa 253-0114, Japan;
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., 1590 Tabata, Samukawa, Kanagawa 253-0114, Japan;
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., 1590 Tabata, Samukawa, Kanagawa 253-0114, Japan;
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., 1590 Tabata, Samukawa, Kanagawa 253-0114, Japan;
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., 1590 Tabata, Samukawa, Kanagawa 253-0114, Japan;
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., 1590 Tabata, Samukawa, Kanagawa 253-0114, Japan;
机译:一种简单的方法,用于测量配制的化学放大光致抗蚀剂膜中的光致产酸剂光反应动力学
机译:聚合物基体和光酸产生剂对化学增幅光刻胶平版印刷性能的影响
机译:用于化学增幅光刻胶的非离子型光致产酸剂的评估
机译:化学增幅光刻胶光产酸剂材料设计的研究
机译:使用pH敏感的荧光成像表征化学放大的光刻胶中光酸的生成。
机译:通过非化学放大光刻胶的EUV定向极性切换对复杂纳米特征的高度有序阵列进行构图
机译:新型PhotoAcid发电机:用于化学放大的光致抗蚀剂系统的关键部件。