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机译:化学放大抗蚀剂中的辐射化学
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University, 8-1 Mihogaoka, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan;
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University, 8-1 Mihogaoka, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan;
机译:聚羟基稳态型化学扩增抗蚀剂的辐射化学的加热效果
机译:氟萘作为候选物的辐射化学,用于化学放大的极端紫外线抗蚀剂的吸收增强组分
机译:193nm顶表面成像工艺的非化学放大抗蚀剂和化学放大抗蚀剂的光刻性能
机译:GaAs晶片的表面化学性质以及在抗蚀剂加工过程中与化学放大抗蚀剂的反应
机译:砷化镓晶片的表面化学研究在化学放大的抗蚀剂构图过程中进行,并通过荧光进行抗蚀剂研究。
机译:化学和辐射诱导的小鼠肿瘤中c-myc基因的过表达和扩增
机译:EB和X射线盐化学扩增抗蚀剂 - 质子产生机制的辐射化学。