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机译:书评

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摘要

Surface interactions and surface modifications have become increasingly critical for a broad range of manufacturing sectors, but also in manufacturing processes for microelectronics, optics, and other emerging industries such as micro-ano-electro-mechanical-systems (MEMS/NEMS). Many applications demand engineered surfaces at different length scales that will function under extreme conditions.
机译:表面相互作用和表面修饰对于广泛的制造领域变得越来越重要,但在微电子,光学和其他新兴产业(例如微/纳米机电系统(MEMS / NEMS))的制造过程中也变得越来越重要。许多应用都要求在不同的长度尺度上设计出能够在极端条件下工作的表面。

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