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机译:缝隙结构的MEMS梳状电容器的边缘效应分析
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机译:MEMS梳状电容器的表征
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机译:通过Bonding-DRIE工艺制作的梳状电容器mEms器件的广义热设计模型:初步框架
机译:建立mEms结构力学可靠性预测分析所需的工程方法和标准