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Establishing Engineering Methods and Criteria Required by Predictive Analysis for Mechanical Reliability of MEMS Structures

机译：建立mEms结构力学可靠性预测分析所需的工程方法和标准

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The expanding areas of MEMS applications are often characterized by demanding operating conditions or harsh environments for those sensitive devices.

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作者
Lawton, R.; Knauss, W.;
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作者单位

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年度 2000
页码 1-19
总页数 19
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
FAILURE ANALYSIS; MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS; PREDICTIONS; RELIABILITY; RELIABILITY ANALYSIS; SENSITIVITY; STRUCTURAL ANALYSIS; MEMS Reliability Predictive Failure Analysis;

机译：故障分析;微电子机械系统;预测;可靠性;可靠性分析;灵敏度;结构分析; mEms可靠性预测失效分析;

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