机译:减少静电梳驱动MEMS执行器中不希望有的光束弯曲的新分析
Natl Inst Technol Rourkela Dept Elect & Commun Engn Rourkela 769008 India;
Indian Inst Sci Ctr Nano Sci & Engn Bangalore 560012 Karnataka India;
IIT Kharagpur Dept Elect Engn Kharagpur 721302 W Bengal India;
Springs; Micromechanical devices; Boundary conditions; Electrostatics; Analytical models; Mathematical model; Fabrication; Beam bending; comb drive actuator; electrostatic actuation; micro-electromechanical system (MEMS); single mask process;
机译:带双倾斜梳状指和平行四边形梁的MEMS继电器/开关的静电梳状驱动执行器
机译:一种基于新的MEMS基于MEMS的可变电容,使用静电垂直梳驱动致动器和辅助悬臂梁
机译:使用半解析方法的静电梳齿驱动器往复梁弯曲的新分析
机译:静电MEMS梳子驱动致动器垂直悬浮力的有限元分析
机译:带有静电驱动的MEMS微束动态分析。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:关于MEMS梳状型静电换能器的横向稳定性分析
机译:用于垂直驱动的静电梳状驱动器。