マイクロミラーアレーを用いた高感度サーモバイル型赤外線アレーセンサの開発

摘要

赤外線アレーセンサの小型化・高感度化を目的に，赤外線を集光するマイクロミラーアレーの接合による感度向上効果と，ウェーハレベルパッケージによる気密封止を目標とした感度の圧力依存性について評価を行った．接合による感度評価の結果，マイクロミラーによって感度が1.6倍向上した．また，マイクロミラーの形状評価から，理論的にはマイクロミラー上の表面凹凸を士50nm以下にすることで95％以上の集光が得られ，更に感度を向上できることを示した．感度の圧力依存性を解析した結果，真空にすることにより2.7倍感度が向上した．この感度を安定させるには，5Pa以下で気密封止する必要があることを示した．