基于双层环形电容阵列的高灵敏度柔性铰链微流量传感器的研究

目录

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第1 章 绪论

1.1 微流量传感器的简介及研究意义

1.2 微流量传感器的国内外研究现状

1.2.1 热式流量传感器

1.2.2 非热式流量传感器

1.3 柔性铰链的国内外研究现状

1.4 本论文的研究路线及创新点

1.5 本论文的章节安排

第2 章 微流量传感器结构原理与特性分析

2.1 基本物理模型的建立

2.1.1方案介绍

2.1.2 方案选择

2.2 基于高灵敏度要求的结构设计与特性分析

2.2.1 柔性铰链的切口形状选择

2.2.2 柔性铰链的切口尺寸设计

2.3 针对双层环形电容的结构设计与特性分析

2.4 本章小结

第3 章 基于COMSOL软件的柔性铰链仿真分析

3.1 COMSOL软件简介

3.2 稳态研究下的仿真分析

3.3 瞬态研究下的仿真分析

3.4 本章小结

第4 章 基于COMSOL软件的双层环形电容仿真分析

4.1 仿真分析环境设置

4.2 有限元计算及求解

4.3 本章小结

第5 章 微流量传感器误差分析与结构优化研究

5.1 微流量传感器误差分析

5.1.1 柔性铰链部分的误差分析

5.1.2 电容部分的误差分析

5.1.3 输出灵敏度误差

5.2 微流量传感器结构优化研究

5.3 实验设计

5.3.1 风速组实验设计

5.3.2 风向组实验设计

5.4 本章小结

第6 章 总结

参考文献

作者简介及科研成果

致 谢