公开/公告号CN104020561A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-09-03
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡微奥科技有限公司;
申请/专利号CN201410199558.7
申请日2014-05-12
分类号G02B26/08(20060101);B81B7/00(20060101);B81B7/04(20060101);
代理机构32200 南京经纬专利商标代理有限公司;
代理人朱小兵
地址 214028 江苏省无锡市无锡新区长江路16号软件园8905室
入库时间 2023-12-17 01:29:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-06
授权
授权
2014-10-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/08 申请日:20140512
实质审查的生效
2014-09-03
公开
公开
机译: 静电驱动的MEMS设备,特别是可旋转的微镜
机译: 静电驱动的MEMS设备,特别是可旋转的微镜
机译: 由在另一个基板上制造的电极驱动的MEMS微镜