一种热驱动MEMS微镜阵列器件及其制造方法

摘要

一种热驱动MEMS微镜阵列器件，其特征在于包括M×N个热驱动MEMS微镜单元(1)、衬底(2)和电引线(3)，其中M、N为大于等于1的整数，热驱动MEMS微镜单元(1)包括镜面(1‑1)、驱动臂(1‑2)，衬底(2)包括TSV通孔(2‑1)、底部PAD(2‑2)、顶部PAD(2‑3)和硅墙(2‑4)，TSV通孔(2‑1)穿过硅墙(2‑4)分别与顶部PAD(2‑3)和底部PAD(2‑2)相连接，电引线(3)依次与底部PAD(2‑2)、TSV通孔(2‑1)、顶部PAD(2‑3)和驱动臂(1‑2)电连接，镜面(1‑1)通过驱动臂(1‑2)连接在衬底(2)上。优点：本发明创造直接采用单圆片实现带背面引线的电热微镜及微镜阵列，减少了键合等工序，降低了成本，其中的微镜阵列可用于光交叉互联。