Purdue University.;
机译:混合光刻:光学和电子束光刻的结合。研究高级设备节点的过程集成和设备性能的方法
机译:电子束光刻和软光刻技术制造和集成聚合物集成光学器件
机译:利用纳米球光刻技术生长碳纳米管阵列及其在场发射器件中的应用
机译:无需激光的直接写入光刻技术制造自由形式的微光学元件,并通过复制进行复制
机译:使用纳米球面光刻和RIE刻蚀制造二维纳米结构阵列及其在光学器件中的应用。
机译:通过在近场扫描大量的领结孔径天线阵列进行高通量光刻
机译:用于制造光波导的无掩模光刻