大気圧直流コロナ・マイクロ放電における第三電極による制御

摘要

We discussed atmospheric DC corona microdischarge with the strong directionality using a miniature gas flow and a plate electrode having a circular opening with a diameter of 6 mm. The hollow electrode functioned as not only a grounded electrode but also a control one. The length and the repetitive current frequency of corona discharges changed when the position and the electric potential of the hollow electrode changed.%1．緒論寸法がマイクロメートルオーダであるマイクロ放電では，「必要な所に必要な大きさで必要な特性を持ったプラズマ」を生成できることから，これを用いたプラズマ源が盛んに研究されている（り。特に，大気圧下でプラズマを生成できるため，真空排気装置や放電容器が不要となり，プラズマ発生装置の小型化，単純化およびそれにともなう省電力化が可能である。さらに，ラジカルなどの化学活性種が容易に生成できるので，反応性の高いプラズマが得られる。このため，医療や産業分野への応用が期待されている。また，マイクロ放電は，粒子間の衝突によるエネルギー緩和が十分になされず，非平衡プラズマが生成できる。そのた