クリーンルームにおける静電気対策の要素技術開発一コロナ放電式イオナイザーにおける低発塵システム（自己発熱型電極）の開発－

摘要

クリーンルーム内で発生する静電気の対策技術は、クリーンルーム技術の重要な要素技術の一つである。静電気はESD（ElectroStaticDischarge；静電破壊）とESA（ElectroStaticAttraction；静電吸着）を引き起こし、半導体製造をはじめとした電子デバイスを生産するクリーンルームにおいて、1980年代には大きな問題となっていた。