法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/503 授权公告日:20121107 终止日期:20150506 申请日:20100506
专利权的终止
2012-11-07
授权
授权
2010-11-10
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/503 申请日:20100506
实质审查的生效
2010-09-22
公开
公开
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