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一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置及方法

摘要

本发明涉及一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置及方法,同轴套置金属棒状电极和介质阻挡管形成电极-介质管,并行排列若干这样的电极-介质管成一个电极阵列面,上电极阵列面接高压线,下电极阵列面接地,电极轴向间夹角为0-180度,等离子体就产生在这样的上下两个电极阵列面之间。本发明利用这种电极阵列面构造介质阻挡放电的非对称电极结构,能够精确控制等离子体放电细丝通道的位置和放电时间,在连续运行的纤维或者薄膜表面均匀导入微纳米图案结构,降低了能耗并改善高性能纤维与树脂间的粘结性,以及纤维或者薄膜表面生物细胞的生长状态、纤维或薄膜表面的光学特性等与表面微纳米图案结构有关的性能。

著录项

  • 公开/公告号CN101838800B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-11-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东华大学;

    申请/专利号CN201010167809.5

  • 申请日2010-05-06

  • 分类号C23C16/503(20060101);C23C16/455(20060101);H05H1/24(20060101);

  • 代理机构31233 上海泰能知识产权代理事务所;

  • 代理人黄志达;谢文凯

  • 地址 201620 上海市松江区松江新城人民北路2999号

  • 入库时间 2022-08-23 09:11:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-06-22

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/503 授权公告日:20121107 终止日期:20150506 申请日:20100506

    专利权的终止

  • 2012-11-07

    授权

    授权

  • 2010-11-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/503 申请日:20100506

    实质审查的生效

  • 2010-09-22

    公开

    公开

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