机译:二次最优迭代学习控制方法在快速热处理中控制晶片温度均匀性的实验应用
Dept. of Chem. & Biol. Eng., Korea Univ., Seoul, South Korea;
rapid thermal processing; process control; optimal control; adaptive control; temperature control; time-varying systems; two-term control; thermocouples; integrated circuit economics; quadratic optimal iterative learning control; wafer temperature un;
机译:二次最优迭代学习控制方法在快速热处理中控制晶片温度均匀性的实验应用
机译:二次最优迭代学习控制方法的试验应用,以控制快速热处理晶圆温度均匀性
机译:商业快速热处理系统的组合迭代学习和三角形操作员自适应线性二态高斯控制
机译:使用最佳迭代学习控制技术控制快速热处理中的晶圆温度均匀性
机译:使用原位椭偏仪在快速热处理中测量和控制硅片温度和氧化膜厚度。
机译:通过低温快速热退火工艺控制生长高均匀性的硒化铟(In2Se3)纳米线
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机译:二次方法。第一卷关于将最优控制理论应用于实用控制系统设计的短期课程