Special Section on the Advanced Semiconductor Manufacturing Conference 2007 (ASMC 2007)

Patterson O. D.; Melzner H.; Beeg T.

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Special Section on the Advanced Semiconductor Manufacturing Conference 2007 (ASMC 2007)

机译：2007年先进半导体制造大会（ASMC 2007）特别部分

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The ten papers in this special section were based on ideas originally introduced at the Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), Stresa, Italy, June 11-12, 2007. The papers are summarized here.

机译：本节中的十篇论文是基于最初于2007年6月11日至12日在意大利斯特雷萨举行的高级半导体制造大会（ASMC）上提出的想法。

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来源
《IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 》 |2008年第3期| p.306-307| 共2页
作者
Patterson O. D.; Melzner H.; Beeg T.;
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作者单位

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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类一般性问题 ;
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