机译:考虑工艺变化的快速光刻掩模优化
Graduate Institute of Electronics Engineering, National Taiwan University, Taipei, Taiwan;
Design for manufacturability (DFM); layout; mask optimization; optical proximity correction (OPC); physical design; process variation (PV); process window;
机译:具有新强度建模的快速过程变化感知掩模优化算法
机译:使用批处理顺序最小平方估计器的快速光刻源优化
机译:通过快速热处理通过摩尔质量不同的PS-b-PMMA薄膜微调光刻掩模
机译:考虑工艺变化的快速光刻掩模优化
机译:利用基于图像的格式,以优化模式数据格式和掩模和掩模模式生成光刻的处理
机译:Fast-SNP:一种快速的矩阵预处理算法可有效地进行代谢模型的无环通量优化
机译:利用新型强度估计模型的快速掩模可制造性和过程变化识别OPC算法