机译:大倾角静电力致动微镜
Devices & Mater. Lab, LG Electron. Inst. of Technol., Seoul, South Korea;
mirrors; micro-optics; electrostatic devices; beam steering; integrated optics; wavelength division multiplexing; optical communication equipment; large tilt angle electrostatic force actuated micro-mirror; two-axis rotational micro-mirror; built-in;
机译:具有3自由度的大倾斜角洛伦兹力致动微镜,用于光学应用
机译:带运动励磁和简单集成式并联平板静电传感器的大角度绝缘子上硅倾斜执行器
机译:静电梳状驱动致动器中使用的成角度的梳齿设计增强了静电力产生能力
机译:用于2自由度微镜的多层薄膜排斥力静电致动器
机译:静电驱动的双壁碳纳米管包括InterTube Van der Waals力
机译:阻尼对带分子间力的静电平行板和扭转执行器动力学行为的影响
机译:基于静电致动微镜系统的新型活性Q开关光纤激光器
机译:用于高填充因子,敏捷光学相位阵列的静电驱动的大孔径微镜致动器组件。