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苏淑靖; 杨晓敏; 张文栋;
华北工学院电子工程系,030051;
双晶片; 致动器; 微型镜; 结构;
机译:具有双压电晶片执行器的电热致动微镜-弯曲型和扭转型
机译:使用双压电晶片致动交错镜(BASM)微传感器进行干涉测量
机译:为最大偏转而优化的热致动双压电晶片悬臂
机译:微型制造,硅弹簧偏置的形状记忆致动微型阀。
机译:通过珀耳帖元件致动的双压电晶片可变焦距微镜的范围扩展
机译:基于NiTi形状记忆合金(sma)的溅射镍钛(NiTi)应力和热驱动悬臂双压电晶片的表征。
机译:微振荡镜具有致动双压电晶片
机译:电连接薄膜致动镜阵列的薄膜电极并将端子连接到有源矩阵上的方法和薄膜致动镜阵列的生产方法,包括该方法以及由此产生的薄膜致动镜阵列的方法
机译:双镜芯片,包括双镜芯片的晶片,多芯片封装,制造双镜芯片的方法,晶片和多芯片封装以及测试双镜芯片的方法
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