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机译:使用预图案化的激光重结晶多晶硅制造的薄膜晶体管可提高性能
机译:在低温多晶硅薄膜晶体管的缓冲氧化物层上进行CF_4等离子体预处理可提高性能和可靠性
机译:通过底栅结构上预图案化的沟道层的激光晶化制备的高性能多晶硅薄膜晶体管
机译:氟离子注入多晶硅膜上制备的Pr_2O_3栅介电薄膜晶体管的特性
机译:P-2:预先形成图案的激光重结晶TFT的性能得到改善
机译:使用准分子激光加工制造的高性能薄膜晶体管。
机译:热损坏微波退火具有高效的能量转换用于在柔性基板上制造高性能A-IGZO薄膜晶体管
机译:高性能短通道双栅极低温多晶硅薄膜晶体管使用准分子激光结晶