MEMSセンサ技術MEMSセンサを使つた電力削減の可能性検討

摘要

MEMSセンサ技術を活用することによって，クリーンルームでの気流を可視化することができ，品質を落とすことなく低コストで安心して省エネを実現できることが実証できた。クリーンルームでは，他に室温や差圧を調整することでも，低コストで省エネの効果が期待できる。製造ラインでは，風速削減以上に十分な製品評価が必要なのはもちろん，環境面でも計測ボイントを增やして，高精度にセンシングして，可視化することが重要である。