用于MEMS传感器的低功耗接口电路

摘要

本发明公开了一种用于MEMS传感器的低功耗接口电路，低功耗接口电路包括依次电连接的压控振荡单元、波形转换单元和频率电压转换单元，MEMS传感器用于采集外部设备的物理参量，并将物理参量的变化值转换为电容变化值ΔC或电感变化值ΔL，压控振荡单元用于将电容变化值ΔC或电感变化值ΔL转换为频率变化值ΔF，波形转换单元用于将频率变化值ΔF转换为时间周期变化值ΔT，频率电压转换单元用于依据时间周期变化值ΔT，呈时间周期变化地输出测量电压VO；本发明的电路结构简单，对工作环境要求较低，且能够对测量的灵敏度、动态范围和标称点进行灵活调节，有效在单一低功耗接口电路上满足对MEMS传感器为电容式传感器或电感式传感器的测量。