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机译:在各种反应性低温等离子体中处理化学蚀刻及其对多酚复合材料的机理
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机译:等离子体反应离子刻蚀对低介电常数多孔有机硅酸盐薄膜微观结构和化学成分的影响
机译:低温空气燃料等离子体中分子能量转移和化学反应的动力学机理
机译:使用SF / sub 6 // O / sub 2 /等离子对硅进行低温反应离子刻蚀
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:整体和复合超高温陶瓷(UHTC)材料的反应性和非反应性放电等离子烧结路线的比较
机译:低温空气等离子体处理对高岭石/聚乙烯复合物理化性质的影响
机译:基于化学反应等离子体的开关机构研究