机译:用双等离子体源化学辅助溅射在GaN膜生长中的原子氮/氢的作用
机译:氢气对近大气氮等离子体辅助GaN膜生长的化学气相沉积的影响
机译:外观质谱法揭示等离子体辅助分子束外延在氮化镓生长中原子氮的作用
机译:等离子体辅助烃膜生长过程中离子诱导的表面活化,化学溅射和氢释放
机译:底物温度和GA源前体对空心阴极等离子体辅助原子层沉积生长和材料性能的影响
机译:使用气体源和RF等离子体辅助金属 - 有机分子束外延对GaN薄膜生长的结构,形态和动力学
机译:原子氮/氢的作用在GaN薄膜生长中通过用双重等离子体来源化学辅助溅射
机译:三甲基镓和三乙基镓作为“ ga”源材料的比较,这些材料用于通过空心阴极等离子体辅助原子层沉积在Si(100)衬底上生长超薄GaN膜