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机译:使用聚合物支撑层集成在任意衬底上的薄膜体声谐振器
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机译:使用Ti籽晶层制备高织构化的Mo和AIN薄膜,用于集成高Q薄膜体声谐振器
机译:直接在聚合物基底上制成的柔性薄膜体声谐振器和类似滤波器的结构
机译:带有Si3N4基座层的CMOS集成ZnO薄膜体声谐振器,提高了IR灵敏度
机译:物理传感应用集成电路上的薄膜体声谐振器
机译:使用聚合物支撑层集成在任意基板上的薄膜压电谐振器
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