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机译:低温下通过PECVD沉积的高性能薄H:SiON OLED封装层
机译:高性能薄h:低温下PECVD沉积的Sion OLED封装层
机译:低温PECVD沉积OLED用SiNx薄膜阻挡层的长期稳定性
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机译:通过常规PECVD对高质量的氧氮化硅(SION)的低温沉积用于OLED包封
机译:用于生物医学可植入设备的原子层沉积氧化铝和聚对二甲苯C双层封装
机译:具有稳健的Zn-O薄膜晶体管双层异质结构设计和低温制造工艺使用真空和溶液沉积层
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