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机译:用于工业PECVD的光伏应用的氮化硅膜
机译:用于工业PECVD的光伏应用的氮化硅膜
机译:传感器应用的低温PECVD沉积氮化硅薄膜
机译:微波PECVD工业规模沉积氮化硅完成的硅太阳能电池的体积和表面钝化
机译:顺序沉积薄膜中的氢浓度分析及表面电荷分析技术在PECVD氮化硅快速无损表征中的应用
机译:氢在PECVD沉积的氮化硅薄膜中的重新分布。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:采用微波pECVD工业规模沉积氮化硅制备硅太阳能电池的体积和表面钝化