机译:用于投影显示的电磁驱动压阻式CMOS MEMS扫描镜
CMOS MEMSelectromagnetic actuationpiezoresistive sensor;
机译:用于投影显示的闭环控制CMOS MEMS双轴扫描镜
机译:带有电容感应的静电驱动二维微扫描镜,用于投影显示
机译:热激励和压阻感测CMOS-MEMS谐振传感器的优化设计
机译:基于MEMS扫描投影仪的视网膜投影显示系统和COICOID弯曲半反射镜
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:具有证明质量的低成本CMOS-MEMS压阻式加速度计
机译:用于投影显示的电磁驱动的压制式CMOS MEMS扫描镜
机译:第三代可寻址CmOs211压阻式应力传感测试芯片的设计与实验评估