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机译:在反应等离子体条件下沉积的非晶碳膜的受控氟化
机译:混合气体(N_2或H_2)控制的i-C_4H_(10)超磁控等离子体沉积的类金刚石非晶碳膜的场发射特性
机译:上电极射频功率控制的超磁控等离子体沉积用于场发射的类金刚石非晶碳膜
机译:控制通过等离子增强化学气相沉积(PE-MOCVD)沉积的非晶GeTe薄膜中的碳含量,用于相变随机存取存储器应用
机译:原位等离子体分析,通过等离子体增强化学气相沉积法沉积在Si上的氟化非晶碳和氢化非晶碳薄膜的氟掺入,热稳定性,应力和硬度比较
机译:等离子体沉积非晶硅薄膜的表面反应性,粗糙度和结晶度的原子分析。
机译:磁控溅射沉积非晶碳膜的基体温度相关的微观结构和电子诱导的二次电子发射特性
机译:在反应等离子体条件下沉积的无定形碳膜的受控氟化
机译:等离子体沉积的非晶碳膜作为平面化层。